目的是在不影響質(zhì)量和安全的前提下改善流程效率。本文向您介紹原本用于半導(dǎo)體行業(yè)的干式真空泵真空箱技術(shù)，因其操作中的清潔和高效而開(kāi)始向工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室真空流程轉(zhuǎn)移。

中山海泰真空泵真空箱以清潔無(wú)污染，而且擁有較寬的抽速范圍以及良好的節(jié)能、穩(wěn)定、易維護(hù)等優(yōu)勢(shì)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，今天張工來(lái)給大家普及一下真空泵真空箱在半導(dǎo)體生業(yè)使用中不可忽視的安全問(wèn)題。

半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕， 真空吸附，測(cè)試設(shè)備，真空清掃等等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì)對(duì)生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導(dǎo)體真空泵真空箱應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)：

1、定期清洗真空泵真空箱及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：

半導(dǎo)體真空泵真空箱應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵真空箱，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵真空箱或管路系統(tǒng)，影響真空泵真空箱性能，造成壓力上升或超壓，第一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備;

2、有效稀釋有害氣體的濃度：

半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵真空箱應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡谜婵障鋬?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵真空箱在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍;

3、注意氧氣的濃度：

空氣中的氧如果濃度過(guò)高也會(huì)發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來(lái)稀釋，防止?jié)舛冗^(guò)高;假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵真空箱油，并及時(shí)更換油濾和油品：

4、防止溫度過(guò)高：

比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵真空箱的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵真空箱還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn);

以上幾個(gè)方面就是半導(dǎo)體真空泵真空箱應(yīng)用中最主要的幾個(gè)安全事項(xiàng)，一定不可忽視，張工說(shuō)小問(wèn)題對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)、產(chǎn)量、效率和安全都有聯(lián)系，我們應(yīng)該延長(zhǎng)真空泵真空箱的使用壽命，努力協(xié)調(diào)平衡，保證效率與安全。        http://www.zshaitai.com/